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通過(guò)高精度干法刻蝕技術(shù)現(xiàn)實(shí)了20μm寬度的氮化鉭電路。
引領(lǐng)世界宇宙空間開(kāi)發(fā)的美國(guó)航空航天局,為了揭露行星的形成過(guò)程,每天都在對(duì)宇宙空間進(jìn)行著觀測(cè)。這是一種利用從投放到平流層中的熱氣球上進(jìn)行定點(diǎn)攝影,計(jì)算、測(cè)量和分析行星變化的技術(shù)。拍攝時(shí),需要一種高靈敏度紅外線相機(jī)技術(shù)來(lái)?yè)渥侥切倪b遠(yuǎn)的宇宙中射來(lái)的微量光粒子。 為了滿足NASA能夠鮮明地對(duì)光粒子進(jìn)行拍攝要求,TECDIA提供了高集成電路陶瓷基板技術(shù)(HCT)。
需求
采用前的狀態(tài)、問(wèn)題
NASA一直在尋求超高傳導(dǎo)性電路基板。
解決方案
問(wèn)題的解決策略
提供高精密20μm寬度氮化鉭電路基板
要點(diǎn)
決定采用的理由
高精度干法刻蝕技術(shù)。
結(jié)果
情況與效果
正在研發(fā)中。
需求采用前的狀態(tài)、問(wèn)題

NASA一直在尋求超高傳導(dǎo)性電路基板。

NASA一直在尋求能夠清晰拍攝宇宙的超高傳導(dǎo)性能的電路基板。對(duì)于這種電路他們指定的材料是氮化鉭(TaN)。
然而,氮化鉭通常是當(dāng)電阻膜來(lái)使用中,制成中容易出現(xiàn)斷線或降低電路的精度現(xiàn)象。因此在氮化鉭的應(yīng)用中,如何保持一致性,高精度的電路,已成為了一個(gè)主要研發(fā)課題。

解決方案問(wèn)題的解決策略

運(yùn)用TECDIA的加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)了寬度為20μm的氮化鉭電路基板。

TECDIA運(yùn)用從創(chuàng)業(yè)初期至今積累的加工技術(shù),提供了高集成電路陶瓷基板技術(shù)(HCT),為NASA提供了解決方案。
在可承受平流層的特殊環(huán)境而且耐用的氧化鋁基板上,我們運(yùn)用氮化鉭實(shí)現(xiàn)了20μm寬度的高精密電路。 干法刻蝕技術(shù)來(lái)進(jìn)行回路制作,干法刻蝕是非常高超的工藝制程,為了形成電路的厚度,也必須通過(guò)反復(fù)試驗(yàn)來(lái)確保電路的精度。


20μm寬度的氮化鉭電路基板。
右上是NASA的LOGO,左下是TECDIA的LOGO。

要點(diǎn)決定采用的理由

運(yùn)用刻蝕技術(shù)制造了高精度的電路基板。

運(yùn)用TECDIA的加工技術(shù),實(shí)現(xiàn)的寬為20μm薄而均勻的氮化鉭電路受到了高度評(píng)價(jià)。
此外,快速提供樣品和堅(jiān)持不懈為客戶提供優(yōu)質(zhì)且更完善方案的態(tài)度,成為T(mén)ECDIA被采用的主要因素。

結(jié)果情況與效果

經(jīng)過(guò)了NASA非常嚴(yán)格的測(cè)試,TECDIA最終被決定采用?,F(xiàn)在,相機(jī)正在保護(hù)箱內(nèi)進(jìn)行著對(duì)平流層觀測(cè)的試驗(yàn)階段。

客戶信息

 

美國(guó)、美國(guó)國(guó)家航空航天局(NASA)

 

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