SiC晶片的芯片化用傳統(tǒng)工藝難以實現(xiàn)。
SiC(碳化硅)是地球上硬度第3的化合物。新莫氏硬度為13,比SiC還硬的只有金剛石(新莫氏硬度15)和碳化硼(新莫氏硬度14)。正因為SiC晶片具有堅硬的電路板,采用切割工藝時會有切削速度慢、生產(chǎn)率低且崩裂過大的問題,如果采用激光工藝,則會有碎片,或者設(shè)備本身價格過高且光源穩(wěn)定性不能保證的問題。
從設(shè)備開發(fā)階段出發(fā),如果要穩(wěn)定地進行實現(xiàn)批量生產(chǎn)活躍動向的SiC電路板的芯片化,必須要解決這些問題。
劃線工藝要解決這個難題。
使用TECDIA獨創(chuàng)的研磨技術(shù)進行劃線工具(刀具)的開發(fā)。同時,結(jié)合已開發(fā)的劃線工具(刀具),還可對劃線工具進行優(yōu)化設(shè)置,成功實現(xiàn)SiC晶片的芯片化。如引入本技術(shù),可實現(xiàn)高品質(zhì)及高生產(chǎn)率的SiC晶片的芯片化。
*"劃線設(shè)備"與"劃線工具(刀具)"配套系列,只有專注于技術(shù)開發(fā)的TECDIA才能實現(xiàn)的技術(shù)。
以客戶的"目標"為目標,發(fā)揮TECDIA產(chǎn)品的定制能力。
除了按照客戶提供的樣品進行芯片化之外,認真咨詢客戶"您希望得到什么樣的結(jié)果",聽取更細致的要求,然后應(yīng)用TECDIA已有技術(shù)的定制能力,這是關(guān)鍵。
本技術(shù)與激光工藝,砂輪式工藝相比,實現(xiàn)了高品質(zhì)作業(yè),提高了生產(chǎn)效率。推薦使用SiC晶片的芯片化工序。
在TECDIA的內(nèi)部設(shè)備試驗成功。與SiC需求市場擴大共同成長。
*關(guān)于劃線刀制作裝置,詳情請咨詢「KUMASAN-MEDIX CO,.LTD」有限公司
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